水調(diào)歌頭·賀中國(guó)半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)突破：僅次于光刻，打破歐美日技術(shù)壟斷
（欽定詞譜毛滂體·《詞林正韻》第七部平聲）
文/周科云
光刻千重鎖，氫注涌波瀾。國(guó)芯晶亮，他石攻玉探尖端。惜近瑤臺(tái)躍試，恰似繁星逐月，奮勉意拳拳。啟明散迷霧，破堵向蓬山。
辟蹊徑，克險(xiǎn)隘，綻華顏。龍騰四海，昂首長(zhǎng)嘯薦軒轅。華夏蒼生聚力，域外怨讎愕亂，熱血化冰寒。大纛迎風(fēng)獵，天下敢為先。
注：近日，國(guó)家電投所屬?lài)?guó)電投核力創(chuàng)芯(無(wú)錫)科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“核力創(chuàng)芯”)暨國(guó)家原子能機(jī)構(gòu)核技術(shù)(功率芯片質(zhì)子輻照)研發(fā)中心，完成首批氫離子注入性能優(yōu)化芯片產(chǎn)品客戶(hù)交付。這標(biāo)志著我國(guó)已全面掌握功率半導(dǎo)體高能氫離子注入核心技術(shù)和關(guān)鍵工藝，補(bǔ)全了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中缺失的重要一環(huán)，為半導(dǎo)體離子注入設(shè)備和工藝的全面國(guó)產(chǎn)替代奠定了基礎(chǔ)。
氫離子注入這項(xiàng)技術(shù)是半導(dǎo)體晶圓制造中僅次于光刻的重要環(huán)節(jié)，在集成電路、功率半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體等多種類(lèi)型半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中起著關(guān)鍵作用，該領(lǐng)域核心技術(shù)及裝備工藝的缺失嚴(yán)重制約了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高端化發(fā)展，特別是 600V 以上高壓功率芯片長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口。核力創(chuàng)芯的重大技術(shù)突破，解決了壟斷和卡脖子的問(wèn)題，意義非常深遠(yuǎn)。
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